GB/T 18994-2003 电子工业用气体 高纯氯
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基本信息
| 标准名称： | 电子工业用气体 高纯氯 |
| 英文名称： | Gases for electronic industry—High purity chlorine |
| 中标分类： | 化工 >> 其他化工产品 >> 工业气体与化学气体 |
| ICS分类： | 化工技术 >> 化工产品 >> 工业气体 |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 |
| 发布日期： | 2003-03-05 |
| 实施日期： | 2003-08-01 |
| 首发日期： | 2003-03-05 |
| 作废日期： | 1900-01-01 |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 提出单位： | 原化学工业部 |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 光明化工研究设计院 |
| 起草人： | 孔祥芝、佘中玉 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2003-08-01 |
| 页数： | 平装16开， 页数：7， 字数：13千字 |
| 书号： | 155066.1-19715 |
适用范围
本标准规定了电子工业用气体高纯氯产品的技术要求、试验方法、检验以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、铝加工等高新技术领域。
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所属分类： 化工 其他化工产品 工业气体与化学气体 化工技术 化工产品 工业气体
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